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    等離子去膠渣機

    產品功能

    可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等。

    詳細介紹

    產品特點

    高密度等離子源,等離子效率高,減少制程時間;

    專利設計之特殊等離子電極;

    特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計;

    處理之均勻性佳;

    等離子均勻性佳;

    可使用多種制程氣體;

    全自動且容易操作;

    設備穩定高,容易維護;

    可根據客戶需求設計專用特殊規格之機臺。

    相關解決方案

    PCB、FPC/PCB, FPC, etc.

    印刷或黏著前之表面粗化或清潔。        

    項目

    PD06

    機臺尺寸

    2000(W)*2100(D)*2626(H)mm

    腔體尺寸

    1100(W)*1480(D)*1220(H)mm

    腔體材質

    不銹鋼體+鋁腔體門

    電極

    水冷電極

    處理能力

    PCB: 28片(20"*24"),可移動式夾具

    電源供應器

    10KWatts

    流量計

    標準四顆(N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆

    壓力計

    760~10-3torr

    真空幫浦

    干式幫浦+魯式幫浦

    冰水機


    溫度監測系統


    臺車



    標簽:

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